“我始終堅(jiān)信未來全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的核心動力在中國,科技創(chuàng)新的源泉也會在中國。”10月21日,在金龍湖創(chuàng)新谷,徐州博康信息化學(xué)品有限公司董事長傅志偉鼓勵團(tuán)隊(duì)成員。
博康集團(tuán)成立于2007年,是一家專業(yè)從事集成電路領(lǐng)域材料和設(shè)備研發(fā)制造的國家高新技術(shù)企業(yè)。集成電路在軍事國防、航空航天、尖端科技以及國民經(jīng)濟(jì)各個領(lǐng)域發(fā)揮著無比重要的作用。而制成集成電路需要用到的光刻工藝,對于中國來說,是一項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)。2004年,傅志偉決定研究這項(xiàng)技術(shù),為中國爭口氣。
當(dāng)時,傅志偉在一家醫(yī)藥科研公司工作,主攻醫(yī)藥行業(yè)中有機(jī)合成中間體的研發(fā)。工作中,一個來自日本的高頻化學(xué)結(jié)構(gòu)引起他的注意。“類似的化學(xué)結(jié)構(gòu)在中國的應(yīng)用領(lǐng)域只有一款感冒藥,我查了半年后發(fā)現(xiàn),這是一種高附加值電子化學(xué)品,名叫光刻膠。”傅志偉說,“光刻技術(shù)被稱為集成電路‘皇冠上的明珠’,光刻膠又是光刻技術(shù)的核心材料。”
傅志偉意識到,如果掌握了光刻相關(guān)技術(shù),不僅能填補(bǔ)國內(nèi)相關(guān)領(lǐng)域的空白,更能打破發(fā)達(dá)國家的技術(shù)壟斷,補(bǔ)齊中國在集成電路產(chǎn)業(yè)中的短板。2004年,傅志偉決定成立企業(yè),研發(fā)光刻膠。
“創(chuàng)業(yè)初期我們非常艱苦。”傅志偉的創(chuàng)業(yè)伙伴潘新剛說:“資金緊張,我們把實(shí)驗(yàn)室建在上海的染料廠里,通風(fēng)處理用排風(fēng)扇,實(shí)驗(yàn)臺用白瓷磚貼。日本團(tuán)隊(duì)來考察,看到實(shí)驗(yàn)室的外觀,以為我們是騙子。”
然而,親眼看到博康公司生產(chǎn)的光刻膠單體材料時,日本團(tuán)隊(duì)肯定了他們的成果。“當(dāng)時日本光刻行業(yè)在全球領(lǐng)先,他們認(rèn)可了,說明我們的路走對了。”傅志偉說。
在業(yè)界嶄露頭角后,傅志偉立志將成果產(chǎn)業(yè)化,真正做大做強(qiáng)。作為土生土長的邳州人,傅志偉決意將生產(chǎn)基地設(shè)在家鄉(xiāng)。2010年3月,徐州博康信息化學(xué)品有限公司在邳州經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)成立。
在邳州,博康公司實(shí)現(xiàn)了193nm光刻膠單體規(guī)模化生產(chǎn)。“193nm是我們行業(yè)里的一個光源的技術(shù)指標(biāo)參數(shù),這個標(biāo)準(zhǔn)的光刻膠之前被國外壟斷。從2008年到2012年,傅志偉帶領(lǐng)我們的團(tuán)隊(duì),歷經(jīng)8年攻克了金屬離子和純化工藝等關(guān)鍵難題,成功突破了世界最先進(jìn)193nm光刻膠單體研發(fā)和規(guī)模化生產(chǎn),填補(bǔ)了我國在這一領(lǐng)域的空白。” 徐州博康信息化學(xué)品有限公司產(chǎn)品中心總監(jiān)邵嚴(yán)亮說。
2012年開始,傅志偉和團(tuán)隊(duì)把目光投向更高處。“那年我們受邀去日本參與一項(xiàng)光刻產(chǎn)品的研發(fā)項(xiàng)目,博康和一家美國公司、一家日本公司進(jìn)行三方合作。博康提供原材料,日本公司提供設(shè)備做下游產(chǎn)品,最后產(chǎn)品供美國公司使用。一次三方會議中,美國人直接來了一句‘請中國人出去休息’,因?yàn)樗麄円M(jìn)行下一階段的技術(shù)討論。”傅志偉說:“我作為中國人在行業(yè)的國際性會議中感受到了歧視。我們決定不再局限于光刻膠單體材料的生產(chǎn),開始做光刻膠成品和光刻設(shè)備的研發(fā)。”
目前,傅志偉帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)先后完成了半導(dǎo)體納米級制版光刻設(shè)備、封裝及PCB激光直接成像設(shè)備兩個國家科技重大專項(xiàng)項(xiàng)目,建立徐州集成電路產(chǎn)業(yè)園——金龍湖創(chuàng)新谷,不斷實(shí)現(xiàn)技術(shù)上的創(chuàng)新、突破。
近日,省委宣傳部授予傅志偉江蘇“最美科技工作者”稱號。面對榮譽(yù),傅志偉說:“科技工作者做科研的目的,不是為了滿足自身的精神需求,而是要把科技轉(zhuǎn)化為競爭力,為民族復(fù)興、為祖國更加強(qiáng)盛作出自己的貢獻(xiàn)!”






